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半导体
在现代化的晶圆制造车间,数以千计的冷却以及温度控制设备7*24小时马不停蹄地运转着,为高精度的半导体制造设备提供精密而稳定的工作温度,以确保停产时间变少。iYTRON 公司为以下半导体制造设备提供订制化的精密冷却及温控方案:
※ 蚀刻设备(etching)※ 化学气相沉积设备(MOCVD,PECVD)
※ 离子注入机(ion implanting)
※ 自动化测试设备(ATE)
iYTRON 所设计生产的热控设备在宽泛的运行温度区间(-80℃ - 150℃)仍能提供异常准确的温度控制(±0.1℃),同时所有的设备的温度控制模块均可基于SEMI S2或者F47标准设计生产。