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冷媒循环冷却系统 (RCS)

冷媒循环冷却系统（RCS）主要应用环境特征：

※ 1~10KW的发热量
※ 客户端不具备厂务水条件
※ 环境温度可控
※ 温控精度要求高

※ 需要极低的工作温度

RCS系统建议工作原理图

用于晶圆制造流程前道设备冷却的RCS系统

iYTRON Arctic系统RCS系统技术参数表：

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